Système de mesure de micro - oxygène à l'échelle ppm pour les procédés de traitement thermique des semi - conducteurs

Allemagne Mesa micro Oxygen Measurement System, dédié au processus de traitement thermique de la chaîne de production de semi - conducteurs.

Allemagne Mesa micro Oxygen Measurement SystemEst un système sophistiqué de mesure de micro - oxygène par extraction de gaz dans une chambre de mesure spéciale, puis par une Sonde Lambda à une température stable et contrôlée, qui peut fournir un signal analogique correspondant à la teneur en oxygène ppm.

Gamme: 0...5 / 10 / 100 / 10000 PPM

Précision: ± 1% FS

Avantage: correction en quatre points

Sortie: 0 (4)... 20ma ou 0...10v

Origine: Allemagne (certifié ISO 9001: 2015)

Industrie applicable: semi - conducteurs

Client principal: Mattson

Allemagne Mesa micro Oxygen Measurement SystemAvec la conception de la sonde de zircone (Sonde Lambda), vous pouvez maintenir la mesure constante à 600 ℃, sans influence de la température dans le four, l'état de fonctionnement de la Sonde Lambda est stable, la durée de vie est plus longue que d'autres produits similaires, la durée de vie réelle peut atteindre 10 ans;

Allemagne Mesa micro Oxygen Measurement SystemChaque Sonde Lambda possède son propre coefficient de dérive du point zéro K1 et son coefficient de compensation de température K2, ce qui rend le signal de mesure de la sortie Smart Power plus précis.La gamme et le type de sortie sont facultatifs. Il est également possible de connecter les résultats de mesure à la machine supérieure via des interfaces telles que RS232 / RS485 pour une fonction de contrôle centralisée.