Chromatographe à ions hélium pour l'analyse du Tétrafluorure de carbone

Le chromatographe ionique à hélium convient à la détection des impuretés traces dans les gaz utilisés dans l'industrie électronique, la petite concentration de détection peut atteindre 5 ppb. L'instrument est équipé d'un détecteur à ionisation d'hélium hautement sensible, utilisant la technologie de découpe centrale de Huai, les vannes d'échantillonnage sont toutes équipées d'un circuit de gaz de protection de purge; La machine entière adopte la conception de boîte Multi - colonne et est équipée du système de correction automatique de la pression d'admission

Chromatographe à ions hélium pour l'analyse du Tétrafluorure de carboneEquipé d'un détecteur à ionisation d'hélium hautement sensible, utilisant la technologie de découpe centrale de Huai, les vannes d'échantillonnage sont toutes équipées d'un circuit de gaz de protection de purge; La machine entière adopte la conception de boîte Multi - colonne et est équipée d'un système de correction automatique de la pression d'admission, garantissant la quantité d'admission de l'échantillon pour différents gaz de fond. Les produits ont été successivement récompensés par le projet de classe a de la ville de Shanghai pour la transformation des résultats de haute technologie.

Projets	Indicateurs
Tétrafluorure de carbone (cf4) pureté (Fraction volumique) / 10-2≥	99.999	99.995	99.99
Azote (n2) contenu (Fraction volumique) / 10-6<	4	20	40
Oxygène + Argon (o2+ AR) contenu (Fraction volumique) / 10-6<	1	5	10
Dioxyde de carbone (co2) contenu (Fraction volumique) / 10-6<	1	5	10
Teneur en monoxyde de carbone (CO) (Fraction volumique) / 10-6<	0.1	0.5	1
Hexafluorure de soufre (SF6) contenu (Fraction volumique) / 10-6<	1	1	5
Humidité (h2O) contenu (Fraction volumique) / contenu, 10-6<	3	5	10
Acidité (en HF) contenu (Fraction volumique) / 10-6<	0.1	0.3	0.3
Autres composés halocarbonésaContenu (Fraction volumique) / 10-6<	1	10	30
Teneur totale en impuretés (Fraction volumique) / L0-6 ≤	10	50	10
Particules	Offre et demande mutuellement convenu	Offre et demande mutuellement convenu	Offre et demande mutuellement convenu
D'autres composés halocarbonés comprennent: hexafluoroéthane, Octafluoropropane, etc.